학위논문
Self-Aligning silicon micromachining using electrochemical etching and its applications = 전기화학적 식각을 이용한 자기정렬 실리콘 미세가공과 그 응용
표제/저자사항 Self-Aligning silicon micromachining using electrochemical etching and its applications = 전기화학적 식각을 이용한 자기정렬 실리콘 미세가공과 그 응용 / Hi-Deok Lee
발행사항 대전: Korea Advanced Institute of Science and Technology, 1996
형태사항 iv, 94 leaves: ill.; 26 cm
주기사항 학위논문(박사) -- 한국과학기술원: 전기 및 전자공학과, 1996
분류기호 한국십진분류법-> 569.2듀이십진분류법-> 621.38
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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