학위논문
Reliability study and effect of NH₃ annealing on the electrical characteristics of polysilicon thin film transistors = 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 신뢰성 연구 및 암모니아 열처리가 전기적 특성에 미치는 영향
표제/저자사항 Reliability study and effect of NH₃ annealing on the electrical characteristics of polysilicon thin film transistors = 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 신뢰성 연구 및 암모니아 열처리가 전기적 특성에 미치는 영향 / Deuk-Sung Choi
발행사항 대전: Korea Advanced Institute of Science and Technology, 1995
형태사항 v, 160 p.: ill.; 26 cm
주기사항 학위논문(박사) -- 한국과학기술원: 전기 및 전자공학과, 1995
분류기호 한국십진분류법-> 569.82듀이십진분류법-> 621.381528
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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