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학위논문

표제/저자사항 ECR플라즈마 工程에 의해 製造된 無定型 실리콘 薄膜과 실리콘 酸化薄膜의 特性 = Characteristics of the a-Si:H and SiO₂ thin films prepared by ECR plasma processes / 全法柱

발행사항 서울: 檀國大學校, 1997

형태사항 xix,250p.: 삽도; 26cm

주기사항 학위논문(박사) -- 단국대학교 대학원: 화학공학과 화학공학전공, 1997

분류기호 한국십진분류법-> 570.329듀이십진분류법-> 660.2995

출처 국립중앙도서관 바로가기

001KMO201509136

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05201▼a470▼b15-3

056 ▼a470▼26

08201▼a570▼223

24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)