학위논문
이중서보를 이용한 초정밀 X-Y 테이블 평면 3자유도 위치제어 = 3-Axis dual-servo control of an XYtheta-stage for ultraprecision positioning
표제/저자사항 이중서보를 이용한 초정밀 X-Y 테이블 평면 3자유도 위치제어 = 3-Axis dual-servo control of an XYtheta-stage for ultraprecision positioning / 이창우
발행사항 대전: 한국과학기술원, 1997
형태사항 ix,137장: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 한국과학기술원: 기계공학과, 1997
분류기호 한국십진분류법-> 559.9듀이십진분류법-> 629.8
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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