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학위논문
AlGaAs / InGaAs / GaAs PHEMT 구조의 특성 및 ECR 플라즈마에 의한 게이트 리세스 식각 공정 연구 = (A)study of structural properties and gate recess etching process by ECR plasma for AlGaAs / InGaAs / GaAs PHEMT
표제/저자사항
AlGaAs / InGaAs / GaAs PHEMT 구조의 특성 및 ECR 플라즈마에 의한 게이트 리세스 식각 공정 연구 = (A)study of structural properties and gate recess etching process by ECR plasma for AlGaAs / InGaAs / GaAs PHEMT / 李哲旭
발행사항
경산: 嶺南大學校, 1998
형태사항
iii,147장: 삽도; 26cm
주기사항
학위논문(박사) -- 영남대학교 대학원: 물리학과 고체물리학전공, 1998
분류기호
한국십진분류법-> 421.7듀이십진분류법-> 530.41
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
