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학위논문
단결정 실리콘에서의 이온 주입 분포 및 결함 분포에 대한 3차원 몬테 카를로 모델링 및 시뮬레이션 = Three-dimensional monte carlo modeling and simulation of as-implanted impurity and damage accumulation in single-crystal silicon
표제/저자사항
단결정 실리콘에서의 이온 주입 분포 및 결함 분포에 대한 3차원 몬테 카를로 모델링 및 시뮬레이션 = Three-dimensional monte carlo modeling and simulation of as-implanted impurity and damage accumulation in single-crystal silicon / 孫明植
발행사항
서울: 中央大學校, 1999
형태사항
ix,146장: 삽도; 26cm
주기사항
학위논문(박사) -- 중앙대학교 대학원: 전자공학과 반도체공학전공, 1999
분류기호
한국십진분류법-> 569.8듀이십진분류법-> 621.38173
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
