학위논문
증착률 균일화를 위한 화학증착 반응로에서 운전조건 및 형상 최적화에 관한 연구 = Operating condition and shape optimization of a CVD reactor for uniform film growth
표제/저자사항 증착률 균일화를 위한 화학증착 반응로에서 운전조건 및 형상 최적화에 관한 연구 = Operating condition and shape optimization of a CVD reactor for uniform film growth / 조원국
발행사항 대전: 한국과학기술원, 1999
형태사항 xv, 156p.: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 한국과학기술원: 기계공학과, 1999
분류기호 한국십진분류법-> 553듀이십진분류법-> 621.4
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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