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다양한 전기탐침을 이용한 RF 플라즈마 전자온도의 측정: . = On the deduction of electron temperature by various electric probes in RF plasma
표제/저자사항
다양한 전기탐침을 이용한 RF 플라즈마 전자온도의 측정: . = On the deduction of electron temperature by various electric probes in RF plasma / Seo, Y.-J Woo, H.-J. 최근식 You, H.-J. Lho, T. Chung, K.-S.
발행사항
서울 : 대한전기학회, 2006
형태사항
주기사항
간행빈도: 단행
수록자료: 2006년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집 (20060712), p. 1568-1569
수록자료: 2006년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집 (20060712), p. 1568-1569
표준번호/부호
UCI G701:C-00033825404
분류기호
한국십진분류법-> 560.5
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
