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포토리소그래피 공정을 이용하여 미세하고 선택적인 수직형 나노와이어 성장: .
표제/저자사항
포토리소그래피 공정을 이용하여 미세하고 선택적인 수직형 나노와이어 성장: . / 임병직 이경일 [1972-] 김성현 [1974-] 김선민 [1975-] 이철승 [1973-] 이재혁 변상언 조진우 [1968-] 김동현 [1984-] 홍용택 [1971-]
발행사항
서울 : 한국진공학회, 2011
형태사항
주기사항
수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 제40회 (20110209), p. 488-488
표준번호/부호
UCI G701:C-00056472962
분류기호
한국십진분류법-> 554.9205
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
