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Atomic layer deposition으로 증착된 Al-doped ZnO film의 전기적, 구조적 및 광학적 특성 분석: . = Electrical, structural and optical characteristic analysis of Al-doped ZnO film deposited by atomic layer deposition
표제/저자사항
Atomic layer deposition으로 증착된 Al-doped ZnO film의 전기적, 구조적 및 광학적 특성 분석: . = Electrical, structural and optical characteristic analysis of Al-doped ZnO film deposited by atomic layer deposition / Jung-soo Lim Kwang-Seok Jeong Hong-Sik Shin Ho-jin Yun Seung-Dong Yang Yu-Mi Kim Hi-Deok Lee Ga-Won Lee
발행사항
서울 : 한국전기전자재료학회, 2011
형태사항
주기사항
수록자료: Journal of KIEEME 제24권 제6호 (20110601), p. 491-496
표준번호/부호
ISSN 1226-7945
UCI G701:C-00056506802
UCI G701:C-00056506802
분류기호
한국십진분류법-> 569.205
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
