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화학적 기상 에칭법을 이용한 고품질 질화물 반도체 나노구조 형성 연구
표제/저자사항 화학적 기상 에칭법을 이용한 고품질 질화물 반도체 나노구조 형성 연구 / 김제형 [1982-] 고영호 [1985-] 공수현 고석민 오충석 [1975-] 박기연 정명호 이정용 [1974-] 조용훈 [1966-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2012
형태사항 PDF1 p.
주기사항 본 자료는 초록(요약문)임
수록자료: 제43회 한국진공학회 … 학술대회 2012년 하계 (20120820), p. 182
표준번호/부호 UCI  G701:C-00060364251
분류기호 한국십진분류법-> 554.9405
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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