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QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술
표제/저자사항 QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술 / 민관식 차덕준 윤주영 [1968-] 강상우 [1974-] 신용현 [1961-] 윤석래 박원영 이규찬 김진태 [1959-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2012
형태사항 PDF1 p.
주기사항 본 자료는 초록(요약문)임
수록자료: 제42회 한국진공학회 … 학술대회 2012년 동계 (20120208), p. 236
표준번호/부호 UCI  G701:C-00060364334
분류기호 한국십진분류법-> 554.9405
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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