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TCAD 시뮬레이션을 이용한 Fin형 SONOS Flash Memory의 모서리 효과에 관한 연구 = A study on the corner effect of fin-type SONOS flash memory using TCAD simulation
표제/저자사항
TCAD 시뮬레이션을 이용한 Fin형 SONOS Flash Memory의 모서리 효과에 관한 연구 = A study on the corner effect of fin-type SONOS flash memory using TCAD simulation / Seung-Dong Yang Jae-Sub Oh Ho-Jin Yun Kwang-Seok Jeong Yu-Mi Kim Sang-Youl Lee Hee-Deok Lee Ga-Won Lee
발행사항
서울 : 한국전기전자재료학회, 2012
형태사항
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지 제25권 제2호 (201202--), p. 100-104 ISSN 1226-7945
표준번호/부호
UCI G701:C-00060401702
분류기호
한국십진분류법-> 561.805
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
