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RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 합성된 Nb-doped TiO<sub>2</sub> 투명전극의 특성 = Properties of Nb-doped TiO<sub>2</sub> transparent conducting oxide film fabricated by RF magnetron sputtering
표제/저자사항
RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 합성된 Nb-doped TiO<sub>2</sub> 투명전극의 특성 = Properties of Nb-doped TiO<sub>2</sub> transparent conducting oxide film fabricated by RF magnetron sputtering / Min-Young Kim Mun-Seong Cho Dong-Gun Lim Jae-Hwan Park
발행사항
서울 : 한국전기전자재료학회, 2012
형태사항
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지 제25권 제3호 (201203--), p. 204-208 ISSN 1226-7945
표준번호/부호
UCI G701:C-00060401721
분류기호
한국십진분류법-> 561.805
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)