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Co-sputtering법으로 제작된 Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O 박막의 인가 파워에 따른 구조적 특성 = The structural characteristics of Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O thin films with sputtering power by co-supttering method
표제/저자사항
Co-sputtering법으로 제작된 Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O 박막의 인가 파워에 따른 구조적 특성 = The structural characteristics of Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O thin films with sputtering power by co-supttering method / Sang Hyun Kim Jihoon Son Nakwon Jang Hong Seong Kim Young Yun
발행사항
서울 : 한국전기전자재료학회, 2013
형태사항
주기사항
간행빈도: 월간
수록자료: Journal of KIEEME ISSN 1226-7945
수록자료: Journal of KIEEME ISSN 1226-7945
표준번호/부호
UCI G701:C-00067714362
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
