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Characteristic of nitrogen doped diamond-like carbon film on the silicon substrates = 실리콘 기판에 증착된 질소도핑 DLC 박막의 특성
표제/저자사항
Characteristic of nitrogen doped diamond-like carbon film on the silicon substrates = 실리콘 기판에 증착된 질소도핑 DLC 박막의 특성 / Van Cao Nguyen 반 카오 Kim, Tae Hyeon 김혜성 Shin, Dong Chul Kim, Tae Gyu
발행사항
부산 : 한국기계가공학회, 2013
형태사항
주기사항
간행빈도: 격월간
수록자료: 한국기계가공학회지 ISSN 2288-0771
수록자료: 한국기계가공학회지 ISSN 2288-0771
표준번호/부호
UCI G701:C-00068110827
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
