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양산용 80 kW급 RF Plasma Torch System 개발 및 Si 나노분말 제조 공정 연구 = Development of 80 kw rf thermal plasma torch system for mass production and research of si nano-powder manufacturing process
표제/저자사항
양산용 80 kW급 RF Plasma Torch System 개발 및 Si 나노분말 제조 공정 연구 = Development of 80 kw rf thermal plasma torch system for mass production and research of si nano-powder manufacturing process / Seok-Kyun Song Byungkoo Son Byunghoon Kim Moonwon Lee Myungsun Sin Sunyong Choi Kyu-Hang Lee Seong-In Kim
발행사항
서울 : 한국진공학회, 2013
형태사항
주기사항
간행빈도: 기타 간행빈도
수록자료: 한국진공학회지 제22권 제2호 (20130330), p. 66-78 ISSN 1225-8822
수록자료: 한국진공학회지 제22권 제2호 (20130330), p. 66-78 ISSN 1225-8822
표준번호/부호
UCI G701:C-00068113254
분류기호
한국십진분류법-> 554.9205
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
