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Modulated Pulsed Power를 이용한 Cr 박막의 증착과 특성 분석
표제/저자사항 Modulated Pulsed Power를 이용한 Cr 박막의 증착과 특성 분석 / 민관식 송제범 [1987-] 윤주영 [1968-] 신용현 [1961-] 차덕준 [1954-] 황윤석 허윤성 김진태 [1959-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2013
형태사항 PDF1 p.
주기사항 간행빈도: 기타 간행빈도
수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 2013년 (20130821), p. 123-123
표준번호/부호 UCI  G701:C-00068113428
분류기호 한국십진분류법-> 554.9205
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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