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플라즈마 전해산화 공정에 있어서 전해액 내 실리콘 이온이 표면특성에 미치는 영향
표제/저자사항 플라즈마 전해산화 공정에 있어서 전해액 내 실리콘 이온이 표면특성에 미치는 영향 / 김성철 [1985-] 윤상희 성기훈 강두홍 민관식 차덕준 [1954-] 김진태 [1959-] 윤주영 [1968-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2013
형태사항 PDF1 p.
주기사항 간행빈도: 기타 간행빈도
수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 2013년 (20130218), p. 290-290
표준번호/부호 UCI  G701:C-00068113617
분류기호 한국십진분류법-> 554.9205
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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