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플라즈마 표면 처리를 이용한 ZnO 습식성장 패터닝 기술 연구
표제/저자사항 플라즈마 표면 처리를 이용한 ZnO 습식성장 패터닝 기술 연구 / 이정환 박재성 박성은 [1976-] 이동익 황도연 김성진 [1953-] 신한재 [1980-] 서창택
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2013
형태사항 PDF3 p.
주기사항 간행빈도: 기타 간행빈도
수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 2013년 (20130218), p. 330-332
표준번호/부호 UCI  G701:C-00068113693
분류기호 한국십진분류법-> 554.9205
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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