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탄성힌지 가이드를 이용한 롤 나노임프린트 리소그래피의 평행도 보상 메커니즘 = Tilt compensation mechanism of the roll nanoimprint lithography system using a flexure hinge guide
표제/저자사항
탄성힌지 가이드를 이용한 롤 나노임프린트 리소그래피의 평행도 보상 메커니즘 = Tilt compensation mechanism of the roll nanoimprint lithography system using a flexure hinge guide / H. J. Lim J. J. Lee K. B. Choi G. H. Kim S. H. Lee H. J. Ahn J. H. Ryu
발행사항
서울 : 한국정밀공학회, 2013
형태사항
주기사항
수록자료: 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013년 (201305--), p. 1067-1068 ISSN 2005-8446
표준번호/부호
UCI G701:C-00068122275
분류기호
한국십진분류법-> 555.05
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
