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Fabrication of nanopatterns by using diblock copolymer
표제/저자사항
Fabrication of nanopatterns by using diblock copolymer / GIL BUM KANG SEONG-IL KIM YONG TAE KIM YOUNG HWAN KIM MIN CHUL PARK SANG JIN KIM CHANG WOO LEE
발행사항
서울 : 한국반도체디스플레이기술학회, 2005
형태사항
주기사항
서지: 참고문헌: p. 186-187
수록자료: 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 논문집 2005년도 추계 p. 183-187
수록자료: 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 논문집 2005년도 추계 p. 183-187
표준번호/부호
UCI G701:A-00112459958
주제명
재료 공학[材料工學]
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
