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원뿔형 드럼을 이용한 화학기계적연마기의 개발 = Development of chemical mechanical polishing machine by conical drum
표제/저자사항 원뿔형 드럼을 이용한 화학기계적연마기의 개발 = Development of chemical mechanical polishing machine by conical drum / 서헌덕 김형재 이성훈 정해도 [1961-]
발행사항 서울 : 韓國工作機械學會, 1999
형태사항 PDFp. 525-529
주기사항 서지: 참고문헌: p. 529
언어: 영어 요약 있음
수록자료: (한국공작기계학회)학술대회 논문집 1999 秋季
다른 형태자료: 상세보기
표준번호/부호 UCI  G701:A-00123513817
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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