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EAS 공정을 이용한 박형 산화실리콘 센서 제작 및 습도 센싱 특성 연구
표제/저자사항 EAS 공정을 이용한 박형 산화실리콘 센서 제작 및 습도 센싱 특성 연구 / 박수빈 유봉영 [1967-]
발행사항 서울 : 한국표면공학회, 2019
형태사항 PDFp. 53[1 p.]
주기사항 수록자료: 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019년 춘계 p. 53
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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