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리소그래피[lithography]
KSH2002040744
용어범주주제어
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용어설명-
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제목 전자 공학[電子工學]
창작물
번호 제목 저자 발행년도 발행처
창작물
번호 1
제목 3D 나노-마이크로 하이브리드 구조체 제작 리소그래피 기술 개발 연구
저자 주관연구기관명: 한국기계연구원 ;주관연구책임자: 이재종 ;연구원: 최기봉,김기홍,임형준,권순근,이성휘,안준형,이수옥,류지형,정미라,정상희,이상욱,정대경,우희명,마무드
발행년도 2015
발행처 미래창조과학부
번호 2
제목 차세대 노광장치
저자 편저: 한국특허정보원
발행년도 2006
발행처 산업교육연구소 : Jinhan M&B
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