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표제/저자사항 Plasma etch system제작에 관한 연구 : 반도체장비개발 및 공정 data base 확립에 관한 연구중 : 最終硏究報告書 / 과학기술처 [편]

발행사항 [과천] : 과학기술처, 1987

형태사항 138 p. : 삽화, 도표 ; 27 cm

주기사항 주관연구기관: 한국전자통신연구소
연구책임자: 박신종
참고문헌: p. 137-138
영어 요약 있음

분류기호 한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152

주제명 반도체[半導體] 플라스마[[plasma]

출처 국립중앙도서관 바로가기

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05201▼a470▼b15-3

056 ▼a470▼26

08201▼a570▼223

24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)