일반도서
3D 나노-마이크로 하이브리드 구조체 제작 리소그래피 기술 개발 연구 = Development of lithography technologies for 3D nano-micro hybrid structures
표제/저자사항 3D 나노-마이크로 하이브리드 구조체 제작 리소그래피 기술 개발 연구 = Development of lithography technologies for 3D nano-micro hybrid structures / 주관연구기관명: 한국기계연구원 ; 주관연구책임자: 이재종 ; 연구원: 최기봉, 김기홍, 임형준, 권순근, 이성휘, 안준형, 이수옥, 류지형, 정미라, 정상희, 이상욱, 정대경, 우희명, 마무드
발행사항 [과천] : 미래창조과학부, 2015
형태사항 47장 : 삽화, 도표 ; 30 cm
총서사항 (글로벌프런티어사업. 바이오나노헬스가드 연구 = Bionano health guard research program)
주기사항 한국어, 영어 요약 있음
분류기호 한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
주제명 리소그래피[lithography]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
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