일반도서
Etchant 기술동향 및 시장분석 : Cu etchant를 중심으로
표제/저자사항 Etchant 기술동향 및 시장분석 : Cu etchant를 중심으로 / 임대현, 윤성민
발행사항 대전 : KiSTi(한국과학기술정보연구원), [2015]
형태사항 149 p. : 삽화, 도표 ; 26 cm
총서사항 ((2015) 정보분석보고서)
주기사항 참고문헌: p. 148-149
표준번호/부호 ISBN 9788929407711 93560
분류기호 한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
주제명 반도체[半導體]    에칭[etching]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
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