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일반도서

표제/저자사항 차세대 노광장치 / 편저: 한국특허정보원

발행사항 서울: 산업교육연구소: Jinhan M&B, 2006

형태사항 84장: 삽화, 도표; 30 cm

총서사항 (기술 및 시장, 특허분석보고서= Technology and market trends & patent analysis report)

주기사항 참고문헌: 장 84

표준번호/부호 ISBN 8984322652 93550: \60000

분류기호 한국십진분류법-> 502.9[569.4]듀이십진분류법-> 608[621.38152]

주제명 특허[特許] 반도체[半導體] 리소그래피[lithography]

출처 국립중앙도서관 바로가기

001KMO201509136

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05201▼a470▼b15-3

056 ▼a470▼26

08201▼a570▼223

24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)