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웨이퍼 세정기술 = Wafer cleaning technology
표제/저자사항
웨이퍼 세정기술 = Wafer cleaning technology / 카렌 A. 라인하르트, 베르너 컨 저 ; 장인배 역
발행사항
서울 : 씨아이알, 2020
형태사항
xxix, 891 p. : 삽화, 도표 ; 26 cm
주기사항
원저자명: Karen A. Reinhardt, Werner Kern
원표제: Handbook of silicon wafer cleaning technology (3rd ed.)
참고문헌과 색인 수록
영어 원작을 한국어로 번역
원표제: Handbook of silicon wafer cleaning technology (3rd ed.)
참고문헌과 색인 수록
영어 원작을 한국어로 번역
표준번호/부호
ISBN 9791156108412 93560: \52000
분류기호
한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
주제명
웨이퍼(반도체)[wafer] 실리콘 웨이퍼[siliconwafer] 공정(생산)[工程] 세정기[洗淨器]
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
