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일반도서

표제/저자사항 반도체 드라이 에칭 기술 = Dry etching technology for semiconductors / 노지리 카즈오 著 ; 전민성 譯

발행사항 서울 : 홍릉, 2021

형태사항 xi, 228 p. : 삽화, 도표 ; 21 cm

주기사항 원저자명: 野尻一男
원표제: はじめての半導体ドライエッチング技術
참고문헌과 색인 수록
일본어 원작을 한국어로 번역

표준번호/부호 ISBN 9791156008828 93560: \32000

분류기호 한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152

주제명 에칭[etching] 반도체[半導體] 제조 기술[製造技術]

출처 국립중앙도서관 바로가기

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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)