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금 전해도금을 이용한 극저온척의 열전도도 연구 = Study of thermal conductivity of ultra-low temperature chuck using Au electroplating
표제/저자사항
금 전해도금을 이용한 극저온척의 열전도도 연구 = Study of thermal conductivity of ultra-low temperature chuck using Au electroplating / 남득현 윤성도 명윤 [1982-] 김가원 나찬웅 [1979-]
발행사항
서울 : 한국표면공학회, 2021
형태사항
주기사항
수록자료: 한국표면공학회 ...학술발표회 초록집 2021년 춘계 p. 149
주제명
금(금속)[金] 열전도도[熱傳導度]
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
