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Resolution Enhancement Technique을 통한 단차가 존재하는 Via contact holes에서의 Depth of Focus 향상에 관한 연구 = Study on the use of resolution enhancement technique for improvement of DOF in sub-via contact holes to severe topography
표제/저자사항
Resolution Enhancement Technique을 통한 단차가 존재하는 Via contact holes에서의 Depth of Focus 향상에 관한 연구 = Study on the use of resolution enhancement technique for improvement of DOF in sub-via contact holes to severe topography / Jung Ho Park
발행사항
서울 : 成均館大學校 大學院, 2012
형태사항
주기사항
학위논문(석사) -- 성균관대학교 일반대학원 반도체디스플레이공학과, 학과, 2013
분류기호
한국십진분류법-> 569.4
주제명
topography
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
