단성분계 박막의 적층구조에서 상호확산공정을 통한 다성분계 강유전체 박막제조법에 대한 연구 ; a study on the fabrication of multicomponent ferroelectric thin film by thermal interdiffusion process
표제/저자사항
단성분계 박막의 적층구조에서 상호확산공정을 통한 다성분계 강유전체 박막제조법에 대한 연구 ; a study on the fabrication of multicomponent ferroelectric thin film by thermal interdiffusion process / 이원규