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8개의 등가강성 스프링이 적용된 전자빔 피니싱용 2축 스테이지의 진동해석 = Modal analysis of a 2-axis stage utilizing electron beam under finishing process applying 8-spring equivalent stiffness
표제/저자사항
8개의 등가강성 스프링이 적용된 전자빔 피니싱용 2축 스테이지의 진동해석 = Modal analysis of a 2-axis stage utilizing electron beam under finishing process applying 8-spring equivalent stiffness / 金泳秀
발행사항
서울 : 國民大學校, 2015
형태사항
주기사항
학위논문: 學位論文(碩士) -- 國民大學校 一般大學院, 機械設計學科 機械設計學專攻, 2015
언어: 영어 요약 있음
서지: 참고문헌: p. 57-58
指導敎授: 鄭在一
언어: 영어 요약 있음
서지: 참고문헌: p. 57-58
指導敎授: 鄭在一
분류기호
한국십진분류법-> 556.1
주제명
전자 빔[電子--] 진동 실험[振動實驗]
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
