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평판디스플레이 제조설비용 10-4Torr급진공 AAO MEMS Pirani센서칩 제조기술개발: 최종보고서
표제/저자사항 평판디스플레이 제조설비용 10-4Torr급진공 AAO MEMS Pirani센서칩 제조기술개발: 최종보고서 / 에이비엠 주관기관박상훈 총괄(주관)책임자
발행사항 [대전] : 중소벤처기업부, 2018
형태사항 PDF112 p.
주기사항 권말부록: 시험성적서 ; 고용실적

분류기호 한국십진분류법-> 530.495
주제명 마이크로 머신[micromachine]   피라니 게이지[Pirani gauge]   평면 디스플레이[平面--]   
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
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