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상압기반 다층박막의 물리적 전기적 양립성 확보 기술개발을 통한 금속산화물 전투명 구동소자 구현
표제/저자사항 상압기반 다층박막의 물리적 전기적 양립성 확보 기술개발을 통한 금속산화물 전투명 구동소자 구현 / 배진혁 주관연구책임자
발행사항 [대전] : 한국연구재단, 2018
형태사항 PDF21 p.
주기사항 서지: 참고문헌: p. 8
분류기호 한국십진분류법-> 569
주제명 금속 산화물 반도체[金屬酸化物半導體]   다층박막[多層薄膜]   
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
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