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고기능성 PVD 증착용 다성분계 합금 타겟 소재 및 제작공법 개발 = Development of multi component alloy target material and manufacturing method for high function PVD deposition
표제/저자사항 고기능성 PVD 증착용 다성분계 합금 타겟 소재 및 제작공법 개발 = Development of multi component alloy target material and manufacturing method for high function PVD deposition / 문경일 연구책임자이엠엘 참여연구기관
발행사항 [천안] : 한국생산기술연구원, 2019
형태사항 PDF22 p.
주기사항 서지: 참고문헌: p. 22

분류기호 한국십진분류법-> 550
주제명 스마트 팩토리[smart factory]   
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
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