학위논문
게이트 유전막 응용을 위한 ZrO₂와 HfO₂박막의 미세구조 및 계면반응 = Microstructures and interfacial reactions of ZrO₂and HfO₂thin films as gate dielectrics
표제/저자사항 게이트 유전막 응용을 위한 ZrO₂와 HfO₂박막의 미세구조 및 계면반응 = Microstructures and interfacial reactions of ZrO₂and HfO₂thin films as gate dielectrics / 남석우
발행사항 서울: 연세대학교, 2003
형태사항 xii, 208p.: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 연세대학교 대학원: 세라믹공학과, 2003
분류기호 한국십진분류법-> 576듀이십진분류법-> 666
주제명 세라믹스[ceramics]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
위로