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학위논문
원자층 증착방법을 이용한 고유전율 게이트 산화박막의 특성 평가에 관한 연구 = (The)study on the characteristics and evaluation of ultra thin high-k gate oxide using atomic layer deposition method
표제/저자사항
원자층 증착방법을 이용한 고유전율 게이트 산화박막의 특성 평가에 관한 연구 = (The)study on the characteristics and evaluation of ultra thin high-k gate oxide using atomic layer deposition method / 具栽亨
발행사항
서울: 漢陽大學校, 2005
형태사항
xv, 257p.: 삽도; 26cm
주기사항
학위논문(박사) -- 漢陽大學校 大學院: 材料工學科, 2005
참고문헌: p.241-251
참고문헌: p.241-251
분류기호
한국십진분류법-> 530.495듀이십진분류법-> 620.195
주제명
유전체 박막[誘電體薄膜]
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
