학위논문
단축 결상 분광기를 이용한 분광 결상 타원계측기 = Spectral imaging ellipsometer with mono axial power spectrograph
표제/저자사항 단축 결상 분광기를 이용한 분광 결상 타원계측기 = Spectral imaging ellipsometer with mono axial power spectrograph / 제갈원
발행사항 대전: 한국과학기술원, 2003
형태사항 viii, 99장: 삽도; 26cm
주기사항 표지표제: 기계 - 단축 결상 분광기를 이용한 분광 결상 타원계측기
학위논문(박사) -- 한국과학기술원: 기계공학과 기계공학전공, 2003
참고문헌: 장94-99
분류기호 한국십진분류법-> 555.614듀이십진분류법-> 681.414
주제명 분광기[分光器]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
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