학위논문
전기 도금 Cu 배선의 확산 방지용 무전해 Ni 도금층의 퇴화 거동 = Degradation of electrolessly deposited Ni diffusion barrier for electroplated Cu interconnects
표제/저자사항 전기 도금 Cu 배선의 확산 방지용 무전해 Ni 도금층의 퇴화 거동 = Degradation of electrolessly deposited Ni diffusion barrier for electroplated Cu interconnects / 崔在雄
발행사항 서울: 漢陽大學校, 2006
형태사항 xiv, 133장: 삽화, 도표; 26 cm
주기사항 학위논문(박사) -- 漢陽大學校 大學院, 材料工學部, 2006
참고문헌: 장 125-133
분류기호 한국십진분류법-> 530.432듀이십진분류법-> 620.182
주제명 반도체 재료[半導體材料]    전기 도금[電氣鍍金]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
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