학위논문
임베디드 캐패시터 적용을 위한 bismuth 계 유전박막의 제조 및 특성평가 = Preparation and properties of bismuth based dielectric thin films for embedded capacitor application
표제/저자사항 임베디드 캐패시터 적용을 위한 bismuth 계 유전박막의 제조 및 특성평가 = Preparation and properties of bismuth based dielectric thin films for embedded capacitor application / 安慶燦
발행사항 대전: 忠南大學校, 2007
형태사항 ix, 170 p.: 삽화, 도표; 26 cm
주기사항 학위논문(박사) -- 忠南大學校 大學院, 材料工學科 材料工學專攻, 2007
참고문헌: p. 161-165
분류기호 한국십진분류법-> 530.495듀이십진분류법-> 620.195
주제명 유전체 박막[誘電體薄膜]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6361)
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